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無(wú)塵室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)劃分
瀏覽次數(shù):2281發(fā)布日期:2013-04-17

 依據(jù)美國(guó)聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無(wú)塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí),如果無(wú)塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來(lái)敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸不是0.5um,無(wú)塵室等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來(lái)表示。例如:10級(jí)在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級(jí)在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無(wú)塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級(jí)。

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