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潔凈度級別

塵粒大允許數(shù)/立方米

≥0.5μm塵粒數(shù)

≥5μm塵粒數(shù)

微生物大允許數(shù)

浮游菌/立方米

沉降菌/皿

100級

3,500

0

5

1

10,000級

350，000

2，000

100

3

100，000級

3，500，000

20，000

500

10

300，000級

10，500，000

60，000

1000

15

空氣潔凈

度等級(N)

大于或等于所標(biāo)粒徑的粒子大濃度限值（空氣粒子數(shù)個(gè)/立方米）

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1.0um

5.0um

ISO Class1

10

2

ISO Class2

100

24

10

4

ISO Class3

1,000

237

102

35

8

ISO Class4

10,000

2,370

1,020

352

83

ISO Class5

100,000

23,700

10,200

3,520

832

29

ISO Class6

1,000,000

237,000

102,000

35,200

8,320

293

ISO Class7

352,000

83,200

2,930

ISO Class8

3,520,000

832,000

29,300

ISO Class9

35,200,000

8,320,000

293,000

注：由于涉及測量過程的不確定性，故要求用不超過三個(gè)有效的濃度數(shù)字來確定等級水平

個(gè)/M≥0.5um

ISO

14644-1(1999)

US

209E(1992)

US

209D(1988)

EEC

cGMP(1989)

FRANCE

AFNOR(1981)

GERMANY

VDI 2083(1990)

JAPAN

JAOA(1989)

1

-

-

-

-

-

-

-

3.5

2

-

-

-

-

0

2

10.0

-

M1

-

-

-

-

-

35.3

3

M1.5

1

-

-

1

3

100

-

M2

-

-

-

-

-

353

4

M2.5

10

-

-

2

4

1,000

-

M3

-

-

-

-

-

3,530

5

M3.5

100

A+B

4,000

3

5

10,000

-

M4

-

-

-

-

-

35,300

6

M4.5

1,000

1,000

-

4

6

100,000

-

M5

-

-

-

-

-

353,000

7

M5.5

10,000

C

400,000

5

7

1,000,000

-

M6

-

-

-

-

-

3,530,000

8

M6.5

100,000

D

4,000,000

6

8

10,000,000

-

M7

-

-

-

-

-

空氣潔凈度等級 [1]  (N)

大于或等于表中粒徑的大濃度限值(pc/m³)

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1um

5um

1

10

2

2

100

24

10

4

3

1000

237

102

35

8

4（十級）

10000

2370

1020

352

83

5（百級）

100000

23700

10200

3520

832

29

6（千級）

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7（萬級）

352000

83200

2930

8（十萬級）

3520000

832000

29300

9（）

35200000

8320000

293000